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상세정보

등록 기판 일체형 진공캐비티를 갖는 멤스 센서

발명자
제창한, 양우석, 최창억, 이성규
출원번호
15/234911 (2016.08.11)
공개번호
US 2017-0241853 A1 (2017.08.24)
등록번호
10113928 (2018.10.30)
출원국
미국
협약과제
15ZB1500, 환경 및 사용자 적응형 MEMS 마이크로폰 솔루션 개발, 양우석
KSP 제안 키워드
Pressure Sensor
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 압력 센서 및 그 제조 방법 대한민국 KIPRIS