상세정보
등록 홀로그램 제조 방법
- 출원번호
- 10-2016-0089452 (2016.07.14) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2017-0107347 (2017.09.25)
- 등록번호
- 10-2395441-0000 (2022.05.03)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 15MB8100, 모바일 완전입체 단말 및 콘텐츠 기술 개발, 황치선
- 초록
- 본 발명은 홀로그램 제조 방법에 관한 것이다. 홀로그램 제조 방법은 기판 상에 상전이 막, 하드 마스크 막, 및 포토레지스트 막을 순차적으로 제공하는 것; 상기 포토레지스트 막 상에 패턴 개구부를 갖는 포토 마스크를 배치하는 것; 상기 패턴 개구부를 통해 상기 포토레지스트 막으로 제1 광을 조사하여, 상기 포토레지스트 막에 상기 하드 마스크 막을 노출시키는 제1 개구부를 형성하는 것; 상기 하드 마스크 막을 식각하여, 상기 하드 마스크 막에 상기 상전이 막을 노출시키는 제2 개구부를 형성하는 것; 그리고, 상기 제2 개구부를 통해 상기 상전이 막으로 제2 광을 조사하여, 상기 상전이 막의 일부를 상전이시켜 홀로그램 영역을 형성하는 것을 포함한다.