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Detail
Registered Method for manufacturing hologram
- Inventors
- Kim Yong Hae, Lee Seung Youl, Gi Heon Kim, Hwang Chi-Sun, Seong-Mok Cho, Jae-Eun Pi, Ryu Hojun, Tae-Youb Kim, Yang Jong-Heon
- Application No.
- 10-2016-0089452 (2016.07.14) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2017-0107347 (2017.09.25)
- Registration No.
- 10-2395441-0000 (2022.05.03)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 15MB8100, Full 3D mobile device & contents, Hwang Chi-Sun
- Abstract
- 본 발명은 홀로그램 제조 방법에 관한 것이다. 홀로그램 제조 방법은 기판 상에 상전이 막, 하드 마스크 막, 및 포토레지스트 막을 순차적으로 제공하는 것; 상기 포토레지스트 막 상에 패턴 개구부를 갖는 포토 마스크를 배치하는 것; 상기 패턴 개구부를 통해 상기 포토레지스트 막으로 제1 광을 조사하여, 상기 포토레지스트 막에 상기 하드 마스크 막을 노출시키는 제1 개구부를 형성하는 것; 상기 하드 마스크 막을 식각하여, 상기 하드 마스크 막에 상기 상전이 막을 노출시키는 제2 개구부를 형성하는 것; 그리고, 상기 제2 개구부를 통해 상기 상전이 막으로 제2 광을 조사하여, 상기 상전이 막의 일부를 상전이시켜 홀로그램 영역을 형성하는 것을 포함한다.