ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH

성과물

특허 검색
구분 출원국
출원년도 ~ 키워드

상세정보

등록 반도체 소자 및 그 제조 방법

반도체 소자 및 그 제조 방법
이미지 확대
발명자
배성범, 김성복
출원번호
10-2016-0095728 (2016.07.27) KIPRIS
공개번호
10-2018-0012917 (2018.02.07)
등록번호
10-2152195-0000 (2020.08.31)
출원국
대한민국
협약과제
15PB2100, 차세대 반도체소자용 에피성장 측정·분석 및 전력반도체 원천기술 개발, 배성범
초록
제 1 기판 상에 제 1 에피층, 희생층, 제 2 에피층 및 제 3 에피층을 순차적으로 적층하는 것, 상기 제 3 에피층, 상기 제 2 에피층 및 상기 희생층을 관통하는 트렌치를 형성하는 것, 상기 제 3 에피층의 상면 상에 구조층을 형성하는 것, 상기 트렌치의 내면 및 상기 구조층을 덮는 금속막을 형성하는 것, 상기 트렌치를 채우고, 상기 금속막을 덮는 제 2 기판을 형성하는 것, 및 상기 제 1 에피층으로부터 상기 제 2 에피층, 상기 제 3 에피층 및 상기 구조층을 분리하는 것을 포함하는 반도체소자의 제조 방법을 제공한다.
KSP 제안 키워드
semiconductor device
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 선택적 스폴링을 이용한 유연 질화물 트랜지스터 제작기술 미국
등록 선택적 스폴링을 이용한 유연 질화물 트랜지스터 제작기술 미국