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Registered 열경화막의 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 패키지의 제조 방법

열경화막의 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 패키지의 제조 방법
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Inventors
엄용성, 최광성, 장건수, 문석환, 배현철
Application No.
10-2017-0151772 (2017.11.14) KIPRIS
Publication No.
10-2019-0054796 (2019.05.22)
Registration No.
10-2457939-0000 (2022.10.19)
Country
KOREA
Project Code
17HB2800, One-stop Multi-functional Interconnection Material for Flip-chip bonding of ICT semiconductor device , Eom Yong Sung
Abstract
본 발명은 열경화막의 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 패키지의 제조 방법을 제공한다. 이 방법은, 가열부재와 접하는 열경화성 수지 조성물을 준비하고, 상기 가열부재에 레이저를 조사하여 상기 가열부재를 가열하고 상기 열경화성 수지 조성물을 경화하여 열경화막을 형성하는 것을 포함하되, 상기 레이저를 조사하여 상기 열경화막의 유리전이온도를 낮춘다.
KSP Keywords
Semiconductor package, Thermally cured