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등록 반도체 패키지의 제조 방법

반도체 패키지의 제조 방법
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발명자
최광성, 엄용성, 장건수, 배현철, 문석환, 주니어, 정이슬
출원번호
10-2018-0069201 (2018.06.15) KIPRIS
공개번호
10-2019-0024633 (2019.03.08)
등록번호
10-2397018-0000 (2022.05.09)
출원국
대한민국
협약과제
17PB1300, 가변영역 레이저를 이용한 이종 패키지 제조용 초정밀 스택 본딩 장비 개발, 최광성
초록
본 발명은 반도체 패키지의 제조 방법을 개시한다. 그의 방법은, 기판 패드를 갖는 패키지 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판 패드 상에 반도체 칩을 실장하는 단계를 포함한다. 상기 반도체 칩을 실장하는 단계는 상기 반도체 칩의 칩 패드와 상기 기판 패드 사이에 솔더와, 제 1 캡슐 층을 갖는 환원제 알갱이를 포함하는 수지 층을 형성하는 단계와, 상기 반도체 칩에 레이저를 조사하여 상기 기판 패드에 상기 칩 패드를 본딩하는 단계를 포함한다.
KSP 제안 키워드
Semiconductor package
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등록 레이저를 이용한 반도체 접합 공정 미국