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Registered Semiconductor rectifying device and manufacturing method thereof

반도체 정류 소자 및 이의 제조 방법
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Inventors
Park Kun Sik, Won Jong Il, Doohyung Cho, Lee Hyun Soo, Park Jong-Moon
Application No.
10-2018-0116623 (2018.09.28) KIPRIS
Publication No.
10-2019-0123659 (2019.11.01)
Registration No.
10-2546335-0000 (2023.06.16)
Country
KOREA
Project Code
17HB2900, Development of High Efficiency and Low Loss Super Barrier Rectifier (SBR) Power Device, Park Kun Sik
Abstract
반도체 정류 소자는 활성화 영역 및 종단 영역을 갖는 반도체 기판, 상기 종단 영역 상에 배치되고 상기 반도체 기판 내에 위치하는 복수개의 가드링들, 상기 종단 영역 상에 배치되고 상기 가드링들을 덮는 절연막, 상기 활성화 영역 상의 게이트 전극층, 상기 종단 영역 상에 배치되고 상기 절연막을 덮는 더미 게이트 전극층, 및 상기 게이트 전극층 및 상기 더미 게이트 전극층을 덮는 제1 전극층을 포함할 수 있다. 상기 절연막의 일부는 상기 가드링들의 각각 및 상기 더미 게이트 전극층 사이에 개재될 수 있다.
KSP Keywords
Manufacturing method, Rectifying Device