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등록 반도체 정류 소자 및 이의 제조 방법

반도체 정류 소자 및 이의 제조 방법
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발명자
박건식, 이현수, 조두형, 원종일, 박종문
출원번호
10-2018-0116623 (2018.09.28) KIPRIS
공개번호
10-2019-0123659 (2019.11.01)
등록번호
10-2546335-0000 (2023.06.16)
출원국
대한민국
협약과제
17HB2900, 고효율, 저손실 슈퍼배리어정류기(SBR) 전력소자 개발, 박건식
초록
반도체 정류 소자는 활성화 영역 및 종단 영역을 갖는 반도체 기판, 상기 종단 영역 상에 배치되고 상기 반도체 기판 내에 위치하는 복수개의 가드링들, 상기 종단 영역 상에 배치되고 상기 가드링들을 덮는 절연막, 상기 활성화 영역 상의 게이트 전극층, 상기 종단 영역 상에 배치되고 상기 절연막을 덮는 더미 게이트 전극층, 및 상기 게이트 전극층 및 상기 더미 게이트 전극층을 덮는 제1 전극층을 포함할 수 있다. 상기 절연막의 일부는 상기 가드링들의 각각 및 상기 더미 게이트 전극층 사이에 개재될 수 있다.
KSP 제안 키워드
Manufacturing method, Rectifying Device