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Registered Pressure Sensor

압력 센서
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Inventors
Jin Tae Kim, Choi Hongkyw, Chung Kwang Hyo
Application No.
10-2019-0018851 (2019.02.18) KIPRIS
Publication No.
10-2020-0039531 (2020.04.16)
Registration No.
10-2572203-0000 (2023.08.24)
Country
KOREA
Project Code
17FS1100, Optical communication system for action CAM auto align , Jin Tae Kim
Abstract
본 발명의 실시예에 따른 압력 센서는 하부 기판 내의 제 1 광도파로, 상기 하부 기판 상의 그래핀층, 상기 그래핀층 상의 상부 기판, 및 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이의 스페이서들을 포함할 수 있다.
KSP Keywords
Pressure Sensor
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Status Patent Country KIPRIS
Registered PRESSURE SENSOR UNITED STATES