상세정보
등록 압력 센서
- 출원번호
- 10-2019-0018851 (2019.02.18) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2020-0039531 (2020.04.16)
- 등록번호
- 10-2572203-0000 (2023.08.24)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 17FS1100, 광통신 시스템 기반의, 10 um 능동 정렬이 가능한 1300만 화소급 360° Action CAM.용 자동 Align 시스템 개발, 김진태
- 초록
- 본 발명의 실시예에 따른 압력 센서는 하부 기판 내의 제 1 광도파로, 상기 하부 기판 상의 그래핀층, 상기 그래핀층 상의 상부 기판, 및 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이의 스페이서들을 포함할 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Pressure Sensor
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 압력센서 | 미국 |