상세정보
등록 균일한 턴-오프 특성을 갖는 MCT 소자 및 그 제조 방법
- 출원번호
- 10-2021-0078878 (2021.06.17) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2021-0158797 (2021.12.31)
- 등록번호
- 10-2509083-0000 (2023.03.07)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 19VU1700, 국방 무기체계용 핵심 반도체 부품 자립화 플랫폼 개발, 임종원
- 초록
- 본 발명은 스페이서 형성과 제거(spacer formation and recession) 방법의 자기-정렬(self-align) 공정을 이용하여 균일하고 짧은 길이의 off-FET 채널을 형성함으로써, off-FET의 전류 구동 능력과 소자 동작의 균일도(uniformity)를 향상시킬 수 있다. 또한 본 발명에 따르면 낮은 게이트 전압 또는 0V의 게이트 전압에서 턴-오프 되는 MCT 소자를 제조할 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Self-align, Turn-off, Turn-off characteristics
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 | 미국 |