본 발명은 전력 반도체 소자의 제조 방법을 개시한다. 그의 제조 방법은 기판 상에 하부 활성 층을 형성하는 단계와, 상기 하부 활성 층의 양측들 상에 상부 활성 층을 형성하는 단계와, 상기 상부 활성 층 및 상기 하부 활성 층 상에 소스 전극, 드레인 전극, 및 게이트 전극을 형성하는 단계와, 상기 기판 및 상기 하부 활성 층을 관통하여 상기 하부 활성 층의 하부 면에 연결되는 방열 및 전기적 접지 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 상부 활성 층은 상기 하부 활성 층의 일부를 노출시키는 마스크 막을 차폐 막으로 이용한 선택적 증착 방법에 의해 고농도로 도핑된 에피텍셜 성장될 수 있다.
KSP 제안 키워드
Power semiconductor, power semiconductor devices, semiconductor device
한국전자통신연구원 지식공유플랫폼에서 제공하는 모든 저작물(각종 연구과제, 성과물 등)은 저작권법에 의하여 보호받는 저작물로 무단복제 및 배포를 원칙적으로 금하고 있습니다. 저작물을 이용 또는 변경하고자 할 때는 다음 사항을 참고하시기 바랍니다.
저작권법 제24조의2에 따라 한국전자통신연구원에서 저작재산권의 전부를 보유한 저작물의 경우에는 별도의 이용허락 없이 자유이용이 가능합니다. 단, 자유이용이 가능한 자료는 "공공저작물 자유이용허락 표시 기준(공공누리, KOGL) 제4유형"을 부착하여 개방하고 있으므로 공공누리 표시가 부착된 저작물인지를 확인한 이후에 자유이용하시기 바랍니다. 자유이용의 경우에는 반드시 저작물의 출처를 구체적으로 표시하여야 하고 비영리 목적으로만 이용이 가능하며 저작물을 변형하거나 2차 저작물로 사용할 수 없습니다.
<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
공공누리가 부착되지 않은 자료들을 사용하고자 할 경우에는 담당자와 사전협의한 이후에 이용하여 주시기 바랍니다.