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Type Funding Org. Research Org.
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폭 1500mm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발 (최종)
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Participants
이수재, 조성행, 조성행
Published
201605
Type
Final Report
Keyword
산화물 반도체, ESL, Etch Stop Layer
Funding Org.
산업통상자원부
Research Org.
아바코
Project Code
15PB1900, Utilizing Technology Development for Oxide Thin-Film Transistor Sputtering Deposition Equipment on Width 1500mm Flexible substrates, Cho Sung Haeng