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등록 반도체 패키지의 제조 방법

반도체 패키지의 제조 방법
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발명자
출원번호
10-2021-0077893 (2021.06.16) KIPRIS
공개번호
10-2022-0043007 (2022.04.05)
등록번호
10-2536941-0000 (2023.05.22)
출원국
대한민국
협약과제
20JB3800, 마이크로 LED 전사∙접합 일괄 공정용 다기능 핵심소재 기술 개발, 최광성
20JB2300, 반도체 초고집적 모듈용 도금소재 개발, 엄용성
초록
본 발명은 반도체 패키지의 제조 방법을 개시한다. 그의 방법은, 하부 기판, 하부 전극, 하부 범프 층, 및 환원제 층을 포함하는 하부 소자를 준비하는 단계와, 상부 기판, 상부 전극, 및 상부 범프 층을 포함하는 상부 소자를 제공하는 단계와, 상기 상부 기판 상에 가압 부재를 제공하여 상기 상부 기판을 상기 하부 기판에 압착하는 단계와, 상기 가압 부재를 투과하는 레이저 빔을 제공하여 상기 상부 소자를 상기 하부 소자에 접합하는 단계를 포함한다.
KSP 제안 키워드
Semiconductor package
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