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Type Funding Org. Research Org.
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차세대 반도체 소자용 에피성장 측정·분석 및 전력 반도체 원천 기술 개발 (2차년도)
Download 72 time
Participants
전치훈, 문재경, 박영락, 장우진, 배성범, 이규석
Published
201604
Type
Annual Report
Keyword
GaN, SiGe, MOCVD, SEG
KSP Keywords
Growth analysis, Power semiconductor
Funding Org.
한국산업기술평가관리원
Research Org.
한국전자통신연구원
Project Code
15PB2100, The development of epi-growth analysis for next generation semiconductor and power semiconductor fundamental technology, Bae Sung-Bum