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반도체 Foundry 운영 사업 (5차년도)
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Participants
구진근, 배윤규, 박종문, 신동석, 이병택, 김상기, 윤용선, 김보우, 김규열, 유성욱, 박병무, 박건식, 임병원
Published
200412
Type
Annual Report
Keyword
유틸리티 시설, PIN Doide, COMS, 플라즈마
Funding Org.
한국전자통신연구원
Research Org.
한국전자통신연구원
Project Code
04ZB1100, The Service Project of Semiconductor Foundry, Kim Bo Woo