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차세대 반도체 소자용 에피성장 측정·분석 및 전력 반도체 원천 기술 개발 (최종)
Download 57 time
Participants
문재경, 박영락, 이형석, 배성범
Published
201707
Type
Final Report
Keyword
질화갈륨, 유기 금속 기상 증착 장치, 선택적 에피성장
Funding Org.
산업통상자원부
Research Org.
한국전자통신연구원
Project Code
16PB2900, The development of epi-growth analysis for next generation semiconductor and power semiconductor fundamental technology, Bae Sung-Bum