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차세대 반도체 소자용 에피성장 측정·분석 및 전력 반도체 원천 기술 개발 (1차년도)
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Participants
전치훈, 고상춘, 문재경, 박영락, 박성수, 장우진, 배성범, 이규석
Published
201504
Type
Annual Report
Keyword
GaN, SiGe, MOCVD, SEG
KSP Keywords
Growth analysis, Power semiconductor
Funding Org.
산업통상자원부
Research Org.
한국전자통신연구원
Project Code
14PB3300, The development of epi-growth analysis for next semiconductor and power semiconductor fundamental technology , Bae Sung-Bum