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질화 붕소 분리층과 소자 전사 기술을 이용한 다목적 초 고주파 소자 개발 (최종)
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참여자
윤형섭, 장성재, 조규준, 배성범
발행년월
202001
구분
최종
키워드
고방열 기판, 질화갈륨, 고출력
KSP 제안 키워드
Boron nitride(BN), Release layer, multi-purpose, transfer technique
출연처
한국전자통신연구원
주관기관
한국전자통신연구원
DOI
10.22648/ETRI.2019.R.000409 
협약과제
19ZB1600, 질화붕소 분리층과 소자 전사 기술을 이용한 다목적 초고주파 소자 개발, 장성재