최근 디스플레이의 기술 개발은 기존의 액정 디스플레이(LCD) 기반 제품 개발에서 고성능 능동형 유기발광다이오드(AMOLED) 디스플레이와 프리폼 디스플레이를 위한 플렉시블/스트레쳐블 디스플레이 기술로 진화하고 있다.
디스플레이 백플레인은 디스플레이 패널에서 화소의 구동을 제어하고, 영상 데이터나 제어신호를 전달하는 기능을 한다. 디스플레이 백플레인은 유리기판 상에 구동소자인 박막트랜지스터 (Thin-film transistor, 이하 TFT)와 배선으로 형성된 화소어레이 또는 트랜지스터 회로들로 구성된다.
TFT는 유리기판 상에 금속, 산화물 및 절연층 박막으로 만들어지는 트랜지스터이다. TFT 기술에는 비정질실리콘 TFT (a-Si TFT), 저온다결정실리콘 TFT (LTPS TFT), 산화물 TFT (Oxide TFT) 및 저온다결정실리콘-산화물 TFT (LTPO TFT) 기술 등이 활용되고 있다. 산화물 TFT 기술은 금속산화물 반도체 소재를 반도체 채널로 사용하는 TFT 기술로, 낮은 Off 전류와 좋은 전하이동도, 우수한 Subthreshold slope 특성을 갖고 있으면서 비정질실리콘 TFT처럼 간단한 구조와 제조공정이 낮다는 장점도 갖고 있어 많이 활용되고 있다. 현재 산화물 TFT 기술은 고급 OLED TV나 모니터, 태블릿에 사용되고 있으며, 최근에는 스마트와치와 고급 모바일 패널 등에 LTPO 기술의 일부로 활용되고 있다.
본 기술은 AMOLED, TFT-LCD, 마이크로LED, 마이크로디스플레이 등 디스플레이 패널 개발에 필요한 TFT 백플레인의 제작 및 평가에 관한 기술이다.
본 기술이전은 산화물 TFT 백플레인 제작기술을 활용하여, 고객이 설계한 패널 및 회로를 제작하고 평가하며, 시제품을 제작 제공하는 것을 목적으로 한다.
디스플레이 패널 및 회로 제작에는 다양한 소재, 부품, 장비 및 공정개발 등이 필요하지만, 디스플레이 백플레인의 제작은 주로 대기업의 거대 양산라인에서 이루어지기 때문에, 많은 인프라를 필요로 한다. 소재, 부품, 장비의 개발 및 소자, 공정 연구개발이 필요한 기관들은 자신들이 개발한 기술의 평가 및 검증을 위하여, 이러한 디스플레이 백플레인 제조 인프라 및 평가 플랫폼를 필요로 한다.
본 기술은 디스플레이나 반도체용 패널 및 구동회로의 개발에 필요한 TFT 백플레인 기술과 시제품 제작 및 평가에 관한 기술을 제공한다. 보다 구체적으로 본 기술은 산화물 TFT 백플레인을 활용한 패널 및 회로의 제작과 그 평가에 관한 기술이다.
본 기술이전은 산화물 TFT 백플레인 제작기술을 활용하여, 고객이 설계한 패널 및 회로를 제작하고 평가하며, 시제품을 제작 제공하는 것을 목적으로 한다.
디스플레이 패널 및 회로 제작에는 다양한 소재, 부품, 장비 및 공정개발 등이 필요하지만, 디스플레이 백플레인의 제작은 주로 대기업의 거대 양산라인에서 이루어지기 때문에, 많은 인프라를 필요로 한다. 소재, 부품, 장비의 개발 및 소자, 공정 연구개발이 필요한 기관들은 자신들이 개발한 기술의 평가 및 검증을 위하여, 이러한 디스플레이 백플레인 제조 인프라 및 평가 플랫폼를 필요로 한다.
본 기술은 디스플레이나 반도체용 패널 및 구동회로의 개발에 필요한 TFT 백플레인 기술과 시제품 제작 및 평가에 관한 기술을 제공한다. 보다 구체적으로 본 기술은 산화물 TFT 백플레인을 활용한 패널 및 회로의 제작과 그 평가에 관한 기술이다.
본 이전 기술은 다음의 기술을 제공한다.
- 고이동도 산화물반도체 TFT 백플레인 기술
- 소재, 부품, 장비 및 공정기술을 평가할수 있는 백플레인 제작 평가 플랫폼 기술
- 패널 및 회로를 설계할수 있도록 산화물 TFT 백플레인 PDK 제공
- 주문 설계 백플레인 시제품의 제작
- 시제품 제작 제공
ㅇ 기대효과
디스플레이 패널 및 구동회로용 백플레인에 대한 시험생산 및 평가 기술제공으로 관련 산업 전반의 상용제품의 기술수준 제고 및 기술 인프라 확보
디스플레이 관련 소재, 부품, 장비에 대한 신제품 개발 평가 및 고부가가치 창출 및 관련 산업 밸류체인의 연계 활성화에 기여함으로써 기술경쟁력을 갖는 중소기업 육성 및 산업 성장견인
- 기술명: 디스플레이 패널 및 회로 구동을 위한 산화물 TFT 백플레인 기술
- 기술이전 내용
산화물 TFT 백플레인 제작기술을 활용하여, 고객이 설계한 디스플레이 패널 및 회로를 제작 및 평가하고, 시제품을 제작하는 기술
1. 산화물 TFT 백플레인 패널 및 회로 설계 기술
- 10um 채널길이 BCE Oxide TFT 소자기반 PDK 제공
- ETRI팹 제작을 위한 마스크 설계
2. 산화물 TFT 백플레인 제작
- 6인치 Glass wafer기반 주문설계 산화물 TFT 백플레인 제작
- 산화물 TFT 백플레인 시제품 AM패널 및 PM패널 각 5장 제공
3. 산화물 TFT 소자 및 공정 TEG 특성 평가
- 산화물 TFT 백플레인의 단위 TFT 소자 I-V 특성 평가
- 산화물 TFT 백플레인의 공정 TEG 평가
ㅇ 적용분야 : 디스플레이
ㅇ 기대효과디스플레이 패널 및 구동회로용 백플레인에 대한 시험생산 및 평가 기술제공으로 관련 산업 전반의 상용제품의 기술수준 제고 및 기술 인프라 확보
디스플레이 관련 소재, 부품, 장비에 대한 신제품 개발 평가 및 고부가가치 창출 및 관련 산업 밸류체인의 연계 활성화에 기여함으로써 기술경쟁력을 갖는 중소기업 육성 및 산업 성장견인