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GaN Nanowire 구조 기반 NO2 가스 센서 소자 개발 (1차년도)
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Participants
Jung Hyunwook, Kim Seong-Il, Hokyun Ahn, Kyu Jun Cho, Jae Won Do, Hae Cheon Kim
Published
201812
Type
Annual Report
Keyword
기능화 공정, 나노 구조물
KSP Keywords
GaN nanowire, Sensor device, gas sensor
Funding Org.
한국전자통신연구원
Research Org.
한국전자통신연구원
DOI
10.22648/ETRI.2018.R.000388 
Project Code
18ZB1700, Development of GaN Nanowire-based NO2 Gas Sensor Device, Hokyun Ahn
Abstract
<연구내용 및 범위>
1. GaN 나노구조물 공정 개발
- GaN 나노구조물 설계 및 패터닝 공정 개발
- GaN 나노구조물 제작용 건식식각 공정 개발
- GaN 나노구조물 제작용 TMAH 후처리 공정 개발

2. Planar-type GaN 센서 소자 개발
- Planar-type GaN 센서 소자 설계
- Planar-type GaN 센서 소자 단위공정 개발
- Planar-type GaN 센서 소자 공정
- Planar-type GaN 센서 소자 성능 분석