1. 유연 기판의 청정실 분위기내의 사용 적합성
2. 유연기판이 산화물 박막 트렌지스터 제작 공정에 대하여 갖는 공정 적합성
3. 유연기판상 제작된 산화물 박막트렌지스터 성능 평가
4. 유연기판의 탈착/전사 공정 평가
○ 플렉시블/웨어러블 기판상이 전자소자 제작 및 관련 응용분야인 가상/증감 현실, 메타버스 기구에 소재/소자 두 축간의 적합성 평가 플렛폼 구축을 밑바탕에 두고 있음. 본건에 연계된 연구사업은소재/부품/장비(소부장 분야에 대한 일본의 규제에 대응하기 위하여 형성되었음.본건은 국가차원의 대응에 부합하며 소부장분야 산/연의 협업의 필요성 요청에 대응됨.
○ 본 이전기술은 웨어러블 및 플렉서블 전자소자 제작에 관련된 각종 유연기판 적용 적합성에 대한 기판, 소자 제작 공정, 소자 성능 등에 대한 종합적인 플렛폼을 제공한다.
1. 유연 기판의 청정실 분위기내의 사용 적합성
기판의 표면 평탄도 및 결함 밀도 평가 기술
2. 유연기판이 산화물 박막 트렌지스터 제작 공정에 대하여 갖는 공정 적합성
진공증착 공정, 포토리소그래피 패터닝 공정, 유기용매 내화학성, 열처리 평가
3. 유연기판상 제작된 산화물 박막트렌지스터 성능 평가
트랜지스터의 전기적 특성 및 기술 및 관련 성능지수를 통한 소자평가.
4. 유연기판의 탈착/전사 공정 평가
물리적/화학적 탈착 공정 최적화 및 전사 기술
1. 유연기판상 산화물 박막트렌지스터 공정 및 특성 평가 기술 요구사항
2 .유연기판상 산화물 박막트렌지스터 공정 및 특성 평가를 위한 시험절차 및 결과서
3 .산화물 박막 트렌지스터 관련 기술문서
4. 유연기판 탈착/전사 관련 기술문서
ㅇ 적용분야 : 플렉시블 디스플레이 백플레인
ㅇ 기대효과: 디스플레이용 플렉시블 소재에 대한 시험생산 및 평가 기술제공으로 산업 전반의 상용제품의 기술수준 제고 및 기술 인프라 확보
플렉시블 전자소재에 대한 고부가가치 실현, 신제품 개발 및 플렉시블 전자소재 산업 Value Chain의 연계 활성화 등에 기여함으로써 기술경쟁력을 갖는 중소기업 육성 및 산업 성장견인
- 플렉시블 디스플레이 업의 기능성을 높일 수 있는 플렉시블 소재에 대한 시험생산 및 평가기술을 제공함으로써 상용제품의 고부가가치 실현으로 세계시장에서 경쟁력 강화로 시장점유율 확대, 수출확대, 무역수지 개선, 고용창출 유발
- 플렉시블 소재기술 분야 참여기관 및 소재, 장비, 소자업체와의 동반성장을 통한 국내 플랙서블 전자소재 산업 활성화 및 고용창출 효과에 기여