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차세대 극한 성능 반도체 원천 기술 개발 (1차년도)
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Participants
Jun Chi Hoon, Junbo Park, Eun Soo Nam, Bae Sung-Bum, Leem Young Ahn, Sang Choon Ko, Kwon Oh Kee, Mun Jae Kyoung, Su Jae Lee, Cho Sung Haeng, Namje Kim, Jeho Na, Kim Zin-Sig, Hyung Seok Lee, Sung Hee Kyung
Published
201701
Type
Annual Report
Keyword
광 빗살 발생기, GaN-Diamond 반도체, P형 산화물 반도체
KSP Keywords
semiconductor device
Funding Org.
한국전자통신연구원
Research Org.
한국전자통신연구원
DOI
10.22648/ETRI.2016.R.000066 
Project Code
16ZB1200, Developement of key material and device technologies for next generation semiconductor devices with extreme performance, Leem Young Ahn
Abstract
<연구내용 및 범위>
- 광빗살발생기 구도 도출
. 펄스레이저 다이오드 기반의 광빗살발생기 도출
. 전산모사를 통한 넓은 optical bandwidth를 가지는 펄스레이저 다이오드 소자구도 도출
. Optical injection locking을 통한 narrow linewidth 레이저 다이오드와 펄스레이저 다이오드로 구성되는 광빗살발생기 제안
- 광빗살발생기 주요공정개발
. 반도체 단위공정개발
. 구도 검증용 펄스레이저 다이오드 제작
- 광빗살발생기 측정셋업 구축 및 구도검증
. 구도 검증용 펄스레이저 다이오드 제작
. 3dB optical bandwidth 확정성 검증: 1.7nm
. Optical injection locking에 따른 좁은 선폭구현 가능성 검증 (100MHz → <5MHz)
- GaN-Diamond 증착기술개발
. GaN surface polishing 및 SiNx interlayer에 따른 성장기술 검증
. Diamond 증착조건 다변화에 따른 성장기술 검증
. Diamond 박막 표면분석 (AFM, SEM), 물성분석 (Raman, PL분석), 열전도도 분석 수행
- GaN-Diamond 소자공정개발
. Diamond와 GaN의 표면분석 (AFM, SEM)과 XRD로 구조 분석
. 기판 열전도도에 따른 MESA 에칭, Ohmic 등 공정검색
. 5A(@3V)급 GaN-Diamond SBD 제작을 통한 공정검증
- 전산모사기반 p형 산화물반도체 소재조성 검색
. ICSD에 축적된 10,000개의 산화물구조로부터 약 2,000개의 고유 구조를 선별하고, 최종 SnSO4, SnB4O7, AsSbO4등의 우수 후보군 도출
- 박막공정검색 및 성장을 통한 p형 산화물반도체 소재 평가
. 용액 공정법에 의한 신규 고성능 p형 산화물반도체 합성 및 박막소재 평가 (SnO, K-doped SnO) : 홀이동도 150cm2/Vs 달성
. 펄스레이저 증착법에 의한 p형 산화물반도체 박막 및 TFT 제조 특성평가 (Cu2O)