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반도체 Foundry 운영 사업 (최종)
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참여자
강진영, 오명숙, 배윤규, 김상기, 이희태, 임병원, 김보우, 유현규, 정희범, 윤용선, 윤형섭, 박종문, 이경호, 문재경, 김해천, 이경호, 유성욱, 장우진, 이상흥, 김동영, 임종원, 김성일, 민병규, 지홍구, 박건식, 강동민, 안호균, 이자열, 이종민, 구진근
발행년월
200912
구분
최종
키워드
공정 기술, HDP, HTO, SiON, CMP, DMOS, WL-IPD, High Temperature Oxide, Oxynitride, Chemical Mechanical Polishing, Wafer-level Integrated Passive Device
출연처
한국전자통신연구원
주관기관
한국전자통신연구원
협약과제
09ZB1400, 수요자 중심 융합부품 개발지원, 정희범