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반도체 Foundry 운영 사업 (최종)
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참여자
임병원, 오명숙, 김해천, 이경호, 장우진, 강동민, 구진근, 문재경, 유성욱, 배윤규, 유현규, 민병규, 이희태, 박종문, 이자열, 이경호, 임종원, 이종민, 김동영, 지홍구, 안호균, 강진영, 윤형섭, 이상흥, 박건식, 김상기, 정희범, 윤용선, 김성일, 김보우
발행년월
200912
구분
최종
키워드
공정 기술, HDP, HTO, SiON, CMP, DMOS, WL-IPD, High Temperature Oxide, Oxynitride, Chemical Mechanical Polishing, Wafer-level Integrated Passive Device
출연처
한국전자통신연구원
주관기관
한국전자통신연구원
협약과제
09ZB1400, 수요자 중심 융합부품 개발지원, 정희범